一种用于传感器的中远红外滤光片及制备方法
基本信息
| 申请号 | CN202011204009.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112162343A | 公开（公告）日 | 2021-01-01 |
| 申请公布号 | CN112162343A | 申请公布日 | 2021-01-01 |
| 分类号 | G02B5/20(2006.01)I;G01J5/08(2006.01)I | 分类 | 光学; |
| 发明人 | 刘敏;刘辉;章旭;吴临红;徐锋;路富亮;叶永洋 | 申请（专利权）人 | 江西晶创科技有限公司 |
| 代理机构 | 鹰潭市智埠专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 江西水晶光电有限公司;江西晶创科技有限公司 |
| 地址 | 335000江西省鹰潭市经济技术开发区和谐路7号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供了一种用于传感器的中远红外滤光片及其制备方法，包括基板、第一膜堆和第二膜堆，所述第一膜堆沉积在基板上表面，所述第二膜堆沉积在基板下表面，膜系设计结构为G|0.5HL0.5H|^L Air；其中G为双抛片单晶硅基板，H表示为一个λ/4光学厚度的高折射率材料层,L表示为一个λ/4光学厚度的低折射率材料层，“^”可以为奇数或偶数，Air为空气，所述膜系设计结构通过相互交替叠合的高折射率材料层H为Ge和低折射率材料层为ZnS镀制而成，本发明通过以单晶硅为基板进行双面镀膜堆，对波长0.4μm‑5μm范围内的红外光进行截止，5.5μm‑14μm波段范围内红外进行透过的Longpass Filters。 |
