一种用于传感器的中远红外滤光片
基本信息
申请号 | CN202022491535.7 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN213581423U | 公开(公告)日 | 2021-06-29 |
申请公布号 | CN213581423U | 申请公布日 | 2021-06-29 |
分类号 | G02B5/20(2006.01)I | 分类 | 光学; |
发明人 | 刘敏;刘辉;章旭;吴临红;徐锋;路富亮;叶永洋 | 申请(专利权)人 | 江西晶创科技有限公司 |
代理机构 | 鹰潭市智埠专利代理事务所(普通合伙) | 代理人 | 周少华 |
地址 | 335000江西省鹰潭市经济技术开发区和谐路7号 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本实用新型提供了一种用于传感器的中远红外滤光片,包括基板、第一膜堆和第二膜堆,所述第一膜堆沉积在基板上表面,所述第二膜堆沉积在基板下表面,膜系设计结构为G|0.5HL0.5H|^L Air;其中G为双抛片单晶硅基板,H表示为一个λ/4光学厚度的高折射率材料层,L表示为一个λ/4光学厚度的低折射率材料层,“^”可以为奇数或偶数,Air为空气,所述膜系设计结构通过相互交替叠合的高折射率材料层为Ge和低折射率材料层L为ZnS镀制而成,本实用新型通过以单晶硅为基板进行双面镀膜堆,对波长0.4μm‑5μm范围内的红外光进行截止,5.5μm‑14μm波段范围内红外进行透过的Longpass Filters。 |
