一种用于传感器的中远红外滤光片

基本信息

申请号 CN202022491535.7 申请日 -
公开(公告)号 CN213581423U 公开(公告)日 2021-06-29
申请公布号 CN213581423U 申请公布日 2021-06-29
分类号 G02B5/20(2006.01)I 分类 光学;
发明人 刘敏;刘辉;章旭;吴临红;徐锋;路富亮;叶永洋 申请(专利权)人 江西晶创科技有限公司
代理机构 鹰潭市智埠专利代理事务所(普通合伙) 代理人 周少华
地址 335000江西省鹰潭市经济技术开发区和谐路7号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型提供了一种用于传感器的中远红外滤光片,包括基板、第一膜堆和第二膜堆,所述第一膜堆沉积在基板上表面,所述第二膜堆沉积在基板下表面,膜系设计结构为G|0.5HL0.5H|^L Air;其中G为双抛片单晶硅基板,H表示为一个λ/4光学厚度的高折射率材料层,L表示为一个λ/4光学厚度的低折射率材料层,“^”可以为奇数或偶数,Air为空气,所述膜系设计结构通过相互交替叠合的高折射率材料层为Ge和低折射率材料层L为ZnS镀制而成,本实用新型通过以单晶硅为基板进行双面镀膜堆,对波长0.4μm‑5μm范围内的红外光进行截止,5.5μm‑14μm波段范围内红外进行透过的Longpass Filters。