一种降低热交换的蒸发镀膜用坩埚
基本信息
| 申请号 | CN202022571219.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN213570708U | 公开（公告）日 | 2021-06-29 |
| 申请公布号 | CN213570708U | 申请公布日 | 2021-06-29 |
| 分类号 | C23C14/30（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 刘敏;章旭;吴临红;刘辉;张帅;刘军;李荣 | 申请（专利权）人 | 江西晶创科技有限公司 |
| 代理机构 | 温州名创知识产权代理有限公司 | 代理人 | 程嘉炜 |
| 地址 | 335000江西省鹰潭市鹰潭经济技术开发区和谐路7号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种降低热交换的蒸发镀膜用坩埚，包括底座、坩埚和设置于底座下端的冷却水通道，所述底座上端面为支撑面，所述支撑面凹陷形成有用于放置坩埚的放置槽，所述坩埚由钨或钼材料制成，当所述坩埚放置于底座时，所述坩埚底端与放置槽底部之间为隔热部。本实用新型具有以下优点和效果：使用钨钼等高熔点材料做坩埚，熔点温度>2600℃高于材料1800℃，且坩埚与底座不完全接触，使得在材料加热处理时边缘部分可以完全的熔化，减少在使用中喷溅，提高产品品质。 |
