一种微波化学气相沉积法生长金刚石的可分合真空腔
基本信息
| 申请号 | CN202110221463.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113025989A | 公开（公告）日 | 2021-06-25 |
| 申请公布号 | CN113025989A | 申请公布日 | 2021-06-25 |
| 分类号 | C23C16/27;C23C16/511 | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 邓新宇 | 申请（专利权）人 | 河南芯钻新材料有限公司 |
| 代理机构 | 河南商盾云专利代理事务所（特殊普通合伙） | 代理人 | 王甜 |
| 地址 | 453000 河南省新乡市平原示范区黄河大道007号新乡中兴智慧产业园6号楼三层 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及微波等离子体化学气相沉积技术领域，具体为一种微波化学气相沉积法生长金刚石的可分合真空腔，包括支撑板、下真空腔法兰与上真空腔法兰，所述支撑板的顶部设置有下真空腔法兰，所述下真空腔法兰的顶部设置有上真空腔法兰，所述下真空腔法兰和上真空腔法兰是可分合的，下真空腔法兰的顶部开设有密封结构，密封结构包括胶圈密封结构和气压密封结构。该微波化学气相沉积法生长金刚石的可分合真空腔，通过将下真空腔法兰和上真空腔法兰设置为可分合，使得工作人员便于在真空腔结构内放入和从真空腔结构内取出金刚石产品，使得真空腔结构的内部便于清洁，有效的提高了该装置的清洁效率，从而有效的保障了该装置长期生产的可靠性。 |
