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一种蓝宝石晶棒退火工艺方法

基本信息

申请号 CN202011627934.X 申请日 -
公开（公告）号 CN112853497A 公开（公告）日 2021-05-28
申请公布号 CN112853497A 申请公布日 2021-05-28
分类号 C30B33/02(2006.01)I;C30B29/20(2006.01)I 分类 晶体生长〔3〕;
发明人 戴生伢;张引;陈福金;黄振进;钱松根 申请（专利权）人 南京理工宇龙新材料科技股份有限公司
代理机构 南京行高知识产权代理有限公司 代理人 肖念
地址 211299江苏省南京市溧水区东屏镇工业园区金港路15号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明提供了一种用于蓝宝石晶棒的退火工艺。其工艺流程包括快速升温、缓慢升温、保温、缓慢降温、快速降温五个阶段，其中保温阶段最高温度可达1900℃。采用该工艺，可以显著降低蓝宝石晶棒掏棒过程中产生的内应力并减少后续蓝宝石晶片加工中出现的翘曲和崩角现象，同时可以减少蓝宝石长晶过程中的位错密度并使晶棒变得无色透明。经验证，退火后的蓝宝石晶棒加工成晶片后，晶片的翘曲度(warp)不良率为0，弯曲度(bow)不良率为0.9％，比退火前的不良率分别降低100％和70％，且在可见光波段的透过率达到了86％。该退火工艺具有较短的退火时间，可显著提高效率并降低成本；同时工艺流程简便，易于实施。