一种微机电系统红外探测器及其制作方法
基本信息
| 申请号 | CN201811422318.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN109399552A | 公开（公告）日 | 2019-03-01 |
| 申请公布号 | CN109399552A | 申请公布日 | 2019-03-01 |
| 分类号 | B81B7/00;B81C1/00 | 分类 | 微观结构技术〔7〕; |
| 发明人 | 赵继聪;葛明敏;孙海燕;孙玲;方家恩 | 申请（专利权）人 | 苏州锐杰微科技集团有限公司 |
| 代理机构 | 江苏隆亿德律师事务所 | 代理人 | 南通大学;成都锐杰微科技有限公司 |
| 地址 | 226000 江苏省南通市崇川区啬园路9号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供一种微机电系统红外探测器，包括配置至少二垂直导电区的衬底，相对固定于衬底、配置至少二电极的热敏感器件，及数量与电极的数量相同，电连接电极与垂直导电区的导电引线；其中，衬底配置热绝缘层，热绝缘层位于热敏感器件于衬底的投影面处。本发明提供MEMS红外探测器的结构，热敏感器件用于接收红外辐射信号，输出电学感应信号，将热敏感器件上面朝向待探测区域，并于热敏感器件的下部的热绝缘层，并于下热敏感器件的下部设置引线结构，提高测量的精准度。基于此，本发明还提供了一种微机电系统红外探测器的制作方法。 |
