一种微机电系统红外探测器
基本信息
| 申请号 | CN201821960157.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN209128032U | 公开（公告）日 | 2019-07-19 |
| 申请公布号 | CN209128032U | 申请公布日 | 2019-07-19 |
| 分类号 | B81B7/00（2006.01）I; B81C1/00（2006.01）I | 分类 | 微观结构技术〔7〕; |
| 发明人 | 赵继聪; 葛明敏; 孙海燕; 孙玲; 方家恩 | 申请（专利权）人 | 苏州锐杰微科技集团有限公司 |
| 代理机构 | 江苏隆亿德律师事务所 | 代理人 | 成都锐杰微科技有限公司; 南通大学 |
| 地址 | 610200 四川省成都市双流区西南航空港经济开发区工业集中发展区华府大道四段777号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型提供一种微机电系统红外探测器，包括配置至少二垂直导电区的衬底，相对固定于衬底、配置至少二电极的热敏感器件，及数量与电极的数量相同，电连接电极与垂直导电区的导电引线；其中，衬底配置热绝缘层，热绝缘层位于热敏感器件于衬底的投影面处。本实用新型提供MEMS红外探测器的结构，热敏感器件用于接收红外辐射信号，输出电学感应信号，将热敏感器件上面朝向待探测区域，并于热敏感器件的下部的热绝缘层，并于下热敏感器件的下部设置引线结构，提高测量的精准度。 |
