一种修整盘小锭的制造方法及制造工具
基本信息
| 申请号 | CN202111331825.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114083452A | 公开（公告）日 | 2022-02-25 |
| 申请公布号 | CN114083452A | 申请公布日 | 2022-02-25 |
| 分类号 | B24D18/00（2006.01）I;B24B53/12（2006.01）I;B24B53/017（2012.01）I | 分类 | 磨削；抛光; |
| 发明人 | 于政中;潘登;张云宝;谭景林 | 申请（专利权）人 | 深圳市前海科创石墨烯新技术研究院 |
| 代理机构 | 广东众赢专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 樊宝忠 |
| 地址 | 518000广东省深圳市前海深港合作区前海湾一路35号前海湾港青年梦工场1栋2层203室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种修整盘小锭的制造方法，包括：金刚石的筛选步骤、物料的准备与放置步骤、物料的固定步骤、放置金刚石步骤、注入高分子树脂、加热固定形成步骤；本发明采用反铸工艺，金刚石顶端对齐效果更好，实际工作的金刚石数量远远高于传统修整盘，大幅提高修整效率。同时金刚石粘固更紧，不易脱落，降低损伤晶圆的风险。反铸工艺使金刚石形态也更加完好，寿命长，能大幅降低晶圆厂的成本。针对传统修整盘的缺点进行改善，具有广阔的应用前景。 |
