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一种激光切割设备光路调光方法

基本信息

申请号 CN202110895407.5 申请日 -
公开（公告）号 CN113458627A 公开（公告）日 2021-10-01
申请公布号 CN113458627A 申请公布日 2021-10-01
分类号 B23K26/38（2014.01）I;B23K26/035（2014.01）I;B23K26/06（2014.01）I;B23K26/70（2014.01）I;B23K101/40（2006.01）N 分类 机床；不包含在其他类目中的金属加工;
发明人 王小卫 申请（专利权）人 瑟福迪恩半导体设备技术（苏州）有限公司
代理机构 江苏昆成律师事务所 代理人 刘尚轲
地址 215300江苏省苏州市昆山市开发区章基路189号3号厂房201-1室
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种激光切割设备光路调光方法，首先在动态运动状态下调节工作台表面与水平移载机构的运动轴平行，消除水平移载机构驱动导致的工作台表面偏斜的问题；再在工作台对应光斑位置放置一个反射镜，观察反射到激光器输出端的光斑与输出光束的中心，调节外光路反射镜组，使得反射镜反射的光束与激光器输出的光束重叠，进而保障激光光束垂直于工作台；最后在动态运动状态下调节Z轴安装板对应安装平面的垂直度，保障激光切割头的Z轴运动轴与激光光束平行，消除Z轴移载机构驱动导致的激光光束偏斜的问题。本发明能够快速的精准的将激光切割设备的光路调节至垂直于工作平面，提高激光切割设备的调试效率，保障切割质量。