制备纳米薄膜的系统及方法
基本信息
| 申请号 | CN201710349730.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN107267918A | 公开（公告）日 | 2017-10-20 |
| 申请公布号 | CN107267918A | 申请公布日 | 2017-10-20 |
| 分类号 | C23C14/22(2006.01)I;C23C14/56(2006.01)I;B82Y40/00(2011.01)I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 张启辉 | 申请（专利权）人 | 深圳市航盛新材料技术有限公司 |
| 代理机构 | 深圳市明日今典知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 深圳市航盛新材料技术有限公司 |
| 地址 | 518000 广东省深圳市南山区粤海街道高新南六道航盛科技大厦6楼6677 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明揭示一种制备纳米薄膜的系统及方法，其中制备纳米薄膜的系统包括处理装置、等离子发生器、偏转装置与成型装置；偏转装置包括第一管道与第一电磁线圈；成型装置设置有基层；等离子发生器将制备纳米薄膜的原料电离成阴离子与阳离子；第一电磁线圈将阴离子或者阳离子偏转进入第一管道，阴离子或者阳离子通过第一管道进入成型装置，成型装置使所述阴离子得到电子形成原子或使所述阴离子失去电子形成原子，在基层形成纳米薄膜。本发明大大提高了纳米薄膜的质量。 |
