半导体扩散炉炉膛维护小车
基本信息
| 申请号 | CN202220543086.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN216918502U | 公开（公告）日 | 2022-07-08 |
| 申请公布号 | CN216918502U | 申请公布日 | 2022-07-08 |
| 分类号 | B66F9/065（2006.01）I;B66F9/19（2006.01）I;B66F9/14（2006.01）I;B66F9/22（2006.01）I;B66F9/24（2006.01）I;B66F9/20（2006.01）I | 分类 | 卷扬；提升；牵引; |
| 发明人 | 殷大晨;王毅 | 申请（专利权）人 | 扬州扬杰电子科技股份有限公司 |
| 代理机构 | 扬州市苏为知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | - |
| 地址 | 225008江苏省扬州市邗江区平山堂北路江阳创业园三期 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 半导体扩散炉炉膛维护小车。涉及半导体加工设备。包括支撑座，升降机构，承托座和托盘，承托座包括承托板和一对导入架；承托板设置在升降机构上方，通过升降机构控制承托板升降高度；一对导入架对称设置在承托板的顶部，之间设有与炉膛适配的导入腔，导入架上设有若干与炉膛适配的滚轮一。通过升降机构将承托座升至与拆卸炉膛适配位置后，将炉膛一端搁置于一对导入架的滚轮一上，通过推动炉膛的方式，将炉膛完全移入承托座上。托盘的底部与升降机构连接，通过轴承实现承托座360°方位的旋转，提高维修或转运时的便捷性和灵活性。本案不仅简化操作流程，降低人力成本，提高工作效率，还提升了维护作业过程中的安全性。 |
