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蓝宝石衬底抛光装置

基本信息

申请号 CN201620401635.7 申请日 -
公开（公告）号 CN205588136U 公开（公告）日 2016-09-21
申请公布号 CN205588136U 申请公布日 2016-09-21
分类号 B24B37/10(2012.01)I;B24B37/34(2012.01)I;H01L33/00(2010.01)I 分类 磨削；抛光;
发明人 朱宁;刘增伟;魏行行 申请（专利权）人 元鸿（山东）光电材料有限公司
代理机构 济宁众城专利事务所 代理人 杜言垒
地址 272000 山东省济宁市高新区联华路8号（信息产业园内)
法律状态 -

摘要

摘要 蓝宝石衬底抛光装置，包括机架，设置在机架上端的水平支架，水平支架上设置水平导轨，垂直支架导向滑动设置于水平导轨上，在水平支架上设置有与垂直支架连接的横向驱动装置，垂直支架上设置纵向导轨，纵向导轨上滑动设置有滑座，所述滑座向下连接有抛光板，在垂直支架上还设置有与滑座连接的纵向驱动装置；抛光板在纵向驱动装置作用下沿垂直支架上下移动，以实现对蓝宝石衬底的压实与安放，垂直支架在横向驱动装置作用下可以沿水平支架往复移动，以适应不同宽度大小衬底的打磨加工；同时在抛光板与配重块的凹槽之间设置有缓冲块，可以对垂直纵向驱动装置下压时抛光板与衬底接触时的冲击力的缓冲，有利于保护蓝宝石衬底免受硬性损坏。