晶圆倒角设备

基本信息

申请号 CN201620401616.4 申请日 -
公开(公告)号 CN205588094U 公开(公告)日 2016-09-21
申请公布号 CN205588094U 申请公布日 2016-09-21
分类号 B24B9/14(2006.01)I;B24B41/02(2006.01)I;B24B41/06(2012.01)I;B24B55/06(2006.01)I 分类 磨削;抛光;
发明人 朱宁;刘增伟;韩勇 申请(专利权)人 元鸿(山东)光电材料有限公司
代理机构 济宁众城专利事务所 代理人 杜言垒
地址 272000 山东省济宁市高新区联华路8号(信息产业园内)
法律状态 -

摘要

摘要 晶圆倒角设备,包括机架,固定设置在机架底座上的研磨装置,设置在研磨装置正上方的晶片旋转装置,所述晶片旋转装置通过轴承座支撑在气缸的杆部,研磨轮的中部开设V型槽口,V型槽口的中部设有止倒垫,止倒垫的中部开设主通道,主通道向下延伸并与横向开设于研磨轮下端的副通道相连通,副通道的一端设有风机,另一端设有收纳袋;V型槽口的中部设有止倒垫,可以防止加工晶片研磨尺寸过多,进入副通道的颗粒通过风机的工作,被送至收纳袋内,免去V型槽口内碎屑颗粒的囤积,降低清理的频率,晶圆倒角效率大大提高。