用于紫外光发光二极管的基板及该基板的制造方法
基本信息
| 申请号 | CN201610251235.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN107305918B | 公开（公告）日 | 2019-04-12 |
| 申请公布号 | CN107305918B | 申请公布日 | 2019-04-12 |
| 分类号 | H01L33/20;H01L33/00 | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 张延瑜;李瑞评;郭浩中;黄嘉彦;刘哲宇 | 申请（专利权）人 | 元鸿（山东）光电材料有限公司 |
| 代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人 | 任岩 |
| 地址 | 272000 山东省济宁市济宁高新区荣昌路与联华路交汇处路东高新区信息产业园（联华路9号） | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 一种用于紫外光发光二极管的基板，由以下列步骤制造：在一基材的表面制作一微纳米结构；于该微纳米结构上设置一磊晶层，该磊晶层包含一氮化铝层；将设置有该磊晶层的基材置于一气氛中进行退火，其中该气氛至少有一含有碳元素的气体，且退火的温度为1500℃以上；具有该微纳米结构的基材及该磊晶层形成用于紫外光发光二极管的基板。从而，使磊晶层的穿透差排的密度降低，在后续制成紫外光发光二极管后，减少紫外光与差排缺陷复合的机会，增进发光效率。 |
