首页/ 元鸿（山东）光电材料有限公司/ 专利详情

蓝宝石衬底

基本信息

申请号 CN201620401735.X 申请日 -
公开（公告）号 CN205595363U 公开（公告）日 2016-09-21
申请公布号 CN205595363U 申请公布日 2016-09-21
分类号 H01L33/20(2010.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 丁泽;何亚东;房观耀 申请（专利权）人 元鸿（山东）光电材料有限公司
代理机构 济宁众城专利事务所 代理人 杜言垒
地址 272000 山东省济宁市高新区联华路8号（信息产业园内)
法律状态 -

摘要

摘要 蓝宝石衬底，包括衬底本体，在衬底本体上表面相互嵌套地设置有用于生长缓冲层的第一凸起和第二凸起，所述第一凸起具有第一分布周期，第二凸起具有第二分布周期，所述第一凸起呈圆台状外形，第二凸起呈圆锥状外形，第一凸起的底面直径大于第二凸起的底面直径，第一凸起的高度大于第二凸起的高度，在第一凸起和第二凸起的侧壁上形成有DBR膜系；各圆台状凸起之间的间距较大，可以生长外延片，有利于提高外延片的生长质量，各圆锥状凸起之间的间距较小，有利于光的多次反射，提高光的提取效率；通过双周期的图形化蓝宝石衬底，形成了缓冲层的叠加优化，从而使后续外延生长的外延片质量以及光的提取效率得到同步提高。