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晶片清洗装置

基本信息

申请号 CN201620401745.3 申请日 -
公开（公告）号 CN205595313U 公开（公告）日 2016-09-21
申请公布号 CN205595313U 申请公布日 2016-09-21
分类号 H01L21/67(2006.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 朱宁;刘增伟;王培培 申请（专利权）人 元鸿（山东）光电材料有限公司
代理机构 济宁众城专利事务所 代理人 杜言垒
地址 272000 山东省济宁市高新区联华路8号（信息产业园内)
法律状态 -

摘要

摘要 晶片清洗装置，包括机架，设置在机架上的上支撑板和下支撑板，在上支撑板和下支撑板之间设置有晶片载具，在下支撑板的中部具有一轴接驱动电机的中间转轴，在上支撑板上设置有上滚刷和上喷头，驱动上滚刷旋转的滚刷电机固定在上支撑板上，上喷头位于上支撑板的另一端，与上喷头相连接的喷淋管与供液管连接，在下支撑板上设置有下滚刷和下喷头，在机架的下支撑板上设置有排液管，所述排液管与供液管连接，在所述排液管上还设置有过滤器；本实用新型通过喷头喷洒清洗液及滚刷的刷洗，以实现对晶片的清洁，在所述排液管上还设置有过滤器。使用过的清洗液经过滤后可以重新利用，有利于节约企业成本。