硅片清洗剂及硅片清洗方法
基本信息
| 申请号 | CN201810151790.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN108300583A | 公开（公告）日 | 2018-07-20 |
| 申请公布号 | CN108300583A | 申请公布日 | 2018-07-20 |
| 分类号 | C11D1/72;C11D3/04;C11D3/20;C11D3/33;C11D3/37;C11D1/14;C11D3/60;C11D11/00 | 分类 | 动物或植物油、脂、脂肪物质或蜡；由此制取的脂肪酸；洗涤剂；蜡烛; |
| 发明人 | 申世峰 | 申请（专利权）人 | 常州协鑫光伏科技有限公司 |
| 代理机构 | 广州华进联合专利商标代理有限公司 | 代理人 | 常州协鑫光伏科技有限公司;扬州协鑫光伏科技有限公司 |
| 地址 | 213022 江苏省常州市新北区新四路1号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及一种硅片清洗剂及硅片清洗方法。该硅片清洗剂，含有螯合剂、活性剂、可溶性碱、醇类添加剂、消泡剂、基材湿润剂、抗氧化剂和去离子水。该硅片清洗方法是将待清洗的硅片依次经纯水漂洗、药剂清洗、纯水漂洗、超声漂洗、提拉烘干，得到表面洁净的硅片。上述硅片清洗剂及硅片清洗方法，能够降低硅片崩边、隐裂、脏污的比例，清洗后不出现黑边，硅片在清洗过程中不容易被氧化。同时，上述硅片清洗剂及硅片清洗方法还能够降低万片清洗剂的使用量，改善脱胶清洗员工的作业环境，提高硅片清洗速度。 |
