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硅片清洗机的供水装置以及硅片生产系统

基本信息

申请号 CN201721072488.4 申请日 -
公开（公告）号 CN207204744U 公开（公告）日 2018-04-10
申请公布号 CN207204744U 申请公布日 2018-04-10
分类号 B08B3/10;B08B13/00;F28D9/00 分类 清洁;
发明人 吴流彬 申请（专利权）人 常州协鑫光伏科技有限公司
代理机构 广州华进联合专利商标代理有限公司 代理人 常州协鑫光伏科技有限公司
地址 213031 江苏省常州市新北区新四路1号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型涉及一种硅片清洗机的供水装置，其包括清洗用水加热机构及余热利用机构；余热利用机构包括热媒水箱、空压机余热器、及用于将热媒水箱中的热媒水泵入空压机余热器中以加热的热媒水泵；清洗用水加热机构包括进水管路、出水管路、用于对清洗用水进行换热升温的板式换热器；板式换热器具有清洗用水进口、清洗用水出口、与空压机余热器连通以将加热后的热媒水引入的热媒水进口、及热媒水出口。该供水装置，采用硅片生产过程中的空压机的余热对清洗用水进行升温，使进入硅片清洗机中的清洗用水水温较高，进而降低硅片清洗机的加热所需的电量，降低能耗；同时有利于硅片成本的降低。本实用新型还公开一种硅片生产系统。