一种钴基材抛光液及其应用

基本信息

申请号 CN202010618662.0 申请日 -
公开(公告)号 CN111635701B 公开(公告)日 2021-07-09
申请公布号 CN111635701B 申请公布日 2021-07-09
分类号 C09G1/02;C23F3/04 分类 染料;涂料;抛光剂;天然树脂;黏合剂;其他类目不包含的组合物;其他类目不包含的材料的应用;
发明人 刘卫丽;徐傲雪;宋志棠 申请(专利权)人 浙江新创纳电子科技有限公司
代理机构 上海泰能知识产权代理事务所(普通合伙) 代理人 魏峯;黄志达
地址 200050 上海市长宁区长宁路865号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明涉及一种钴基材抛光液及其应用,按重量百分比,包括如下组分:液相载体50‑80%;磨料0.1‑10%;氧化剂≤1%;铵盐化合物0.005‑20%;抑制剂0.1‑100mM。本发明通过选择合适的氧化剂、铵盐化合物以及抑制剂并将他们合理组合,通过提高机械和化学作用来提高抛光速率,控制Co表面腐蚀情况以及改善表面质量,具有良好的应用前景。