一种有机硅缓蚀剂及其制备方法

基本信息

申请号 CN202110059131.7 申请日 -
公开(公告)号 CN112898573A 公开(公告)日 2021-06-04
申请公布号 CN112898573A 申请公布日 2021-06-04
分类号 C08G77/388;C08G77/20;C23F11/173 分类 有机高分子化合物;其制备或化学加工;以其为基料的组合物;
发明人 张玉花 申请(专利权)人 濮阳市万良石油科技发展有限公司
代理机构 - 代理人 -
地址 457000 河南省濮阳市濮阳工业园区久盛园区内
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种有机硅缓蚀剂及其制备方法,包括:1)阴离子聚合制备单端溴的乙烯基硅油;2)巯基‑乙烯基点击反应使得叔胺键合至硅油链上,制备单端溴胺基硅油;3)单端溴胺基硅油与叠氮化钠反应制备单端叠氮胺基硅油;4)叠氮‑炔环点击反应使得单端叠氮胺基硅油键合至与三(4‑乙炔苯基)胺,制得具有三臂的胺基硅油;5)三臂胺基硅油与碘甲烷进行季铵化反应,制备有机硅缓蚀剂;与现有技术相比,本发明提供的有机硅缓蚀剂的制备方法,条件温和且产率高,分子结构易于控制和设计,并且具有良好的水溶性和热稳定性,适用于各种复杂的环境。