利用飞秒激光实时测量反射镜损伤阈值的测量装置及方法
基本信息
| 申请号 | CN201610341121.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN105890878A | 公开（公告）日 | 2016-08-24 |
| 申请公布号 | CN105890878A | 申请公布日 | 2016-08-24 |
| 分类号 | G01M11/02(2006.01)I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 卢海洋;李荣凤;高树超;刘建波;赵研英;颜学庆 | 申请（专利权）人 | 北京锐德康科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京万象新悦知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 王岩 |
| 地址 | 100871 北京市海淀区颐和园路5号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种利用飞秒激光实时测量反射镜损伤阈值的测量装置及方法。本发明采用将入射激光分束后，一束作为主激光另一束倍频后作为探测光；主激光入射至反射镜样品表面，若损伤则表面产生等离子体；探测光的一部分携带等离子体信息，携带着等离子体信息部分与未携带等离子体信息部分进行干涉产生干涉条纹，通过延时光路改变探测光的延时，探测主激光过后不同时刻的干涉图样，得到主激光入射到反射镜样品上后产生的等离子体的演化过程，反演得到反射镜样品的损伤情况；本发明实时监测不同能量不同功率密度情况下飞秒激光对0°反射镜的损伤情况，可用于光学镀膜领域中损伤阈值的测量，对飞秒反射镜损伤阈值的提高方法改进有指导性意义。 |
