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一种晶圆洗边系统

基本信息

申请号 CN201911334133.1 申请日 -
公开（公告）号 CN111085498A 公开（公告）日 2020-05-01
申请公布号 CN111085498A 申请公布日 2020-05-01
分类号 B08B3/12;B08B1/02;B08B13/00;H01L21/67 分类 清洁;
发明人 乐美华 申请（专利权）人 南安泊阅工业设计有限公司
代理机构 - 代理人 -
地址 362341 福建省泉州市南安市官桥镇西街442号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种晶圆洗边系统，其结构包括脚轮、箱体、控制面板、清洗槽、上盖，脚轮安装于箱体下端四角并且采用机械连接，控制面板安装于箱体正面并且通过导线电连接，清洗槽嵌入安装于箱体内侧，上盖安装于箱体上端并且采用铰链连接；清洗槽包括沿板、清洗箱、内槽、放置框，沿板水平安装于清洗箱上端并且相焊接，内槽设于清洗箱内侧并且为一体化结构，放置框安装于清洗箱内侧并且位于内槽，本发明在内槽设置了放置框，减少了晶圆之间的磕碰，从而减少了晶圆表面造成的损伤；在内腔下端设置了底毛刷结构，防止晶圆与内壁发生碰撞，减少了晶圆表面造成的损伤，使其在加工完成后在电路设备整体的故障率降低，进而提高了成品率。