芯片缺陷检测定位系统及其应用方法

基本信息

申请号 CN202010823452.5 申请日 -
公开(公告)号 CN112067652A 公开(公告)日 2020-12-11
申请公布号 CN112067652A 申请公布日 2020-12-11
分类号 G01N25/20(2006.01)I;G01K11/16(2006.01)I 分类 测量;测试;
发明人 高宇阳;马超龙;吕继祥;陆健健;熊春荣 申请(专利权)人 苏州和萃新材料有限公司
代理机构 - 代理人 -
地址 215500江苏省苏州市常熟高新技术产业开发区黄浦江路280号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明提供了一种芯片缺陷检测定位系统,包括检测膜,其包括基底层、粘贴层和感温变色层,感温变色层由感温变色浆料固化形成,感温变色浆料包括液晶微胶囊、主体树脂和水;供电装置,其提供电信号给待测芯片;以及信号处理装置,其对测试信号进行收集和处理。本发明还公开了一种检测定位芯片缺陷的方法。本发明公开的芯片缺陷检测定位系统,可检测微米级的芯片缺陷,检测结果鲜明直观,检测方法简单易操作。同时检测膜即贴即测,用完即可移除,无需特殊清洗,安全可靠。