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一种用于检测喷淋板流阻的设备及检测方法

基本信息

申请号 CN202110686484.X 申请日 -
公开（公告）号 CN113358317A 公开（公告）日 2021-09-07
申请公布号 CN113358317A 申请公布日 2021-09-07
分类号 G01M9/00;G01M9/06;G01M9/08 分类 测量；测试;
发明人 柳雪;柴智 申请（专利权）人 拓荆科技股份有限公司
代理机构 沈阳维特专利商标事务所（普通合伙） 代理人 李娜
地址 110179 辽宁省沈阳市浑南区水家900号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明提供了一种用于检测喷淋板流阻的设备以及基于该设备提供的流阻检测方法，包括进气系统、检测腔室、抽气系统、第一真空规及第二真空规；进气系统，至少包括一进气管道，该进气管连通到腔室；腔室，包括上面、侧面及底面三者连接形成该腔室；在上面及底面均设有连通孔；第一真空规与第二真空规分别通过管道对应连通到上面、底面的连通孔；喷淋板设置在真空腔室内近顶部；抽气系统，包括一通过底面与真空腔室内连通的抽气管道。该设备结构简单，可以精确检测不同喷淋板的流阻，且检测时间快，对喷淋板无接触损伤，通过简单结构喷淋板入手解决了不同腔体之间的工艺差异性。