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具有接点阵列的晶圆加热座

基本信息

申请号 CN201910467555.X 申请日 -
公开（公告）号 CN110265323B 公开（公告）日 2021-09-03
申请公布号 CN110265323B 申请公布日 2021-09-03
分类号 H01L21/67（2006.01）I;H01L21/687（2006.01）I 分类 基本电气元件;
发明人 荒见淳一;周仁 申请（专利权）人 拓荆科技股份有限公司
代理机构 沈阳维特专利商标事务所（普通合伙） 代理人 甄玉荃
地址 110179辽宁省沈阳市浑南区水家900号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明提供一种晶圆加热座，包含一支撑柱连接于一盘体的底面，且该支撑柱握持有对应接触盘体的多个接触垫的一接点阵列，该接点阵列包括复数个接触柱。