一种晶圆转移及测量系统
基本信息
| 申请号 | CN201910077771.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN109904101B | 公开（公告）日 | 2021-09-03 |
| 申请公布号 | CN109904101B | 申请公布日 | 2021-09-03 |
| 分类号 | H01L21/677（2006.01）I;H01L21/67（2006.01）I;H01L21/66（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 王亮;曹晓杰;王卓 | 申请（专利权）人 | 拓荆科技股份有限公司 |
| 代理机构 | 沈阳维特专利商标事务所（普通合伙） | 代理人 | 甄玉荃 |
| 地址 | 110179辽宁省沈阳市浑南区水家900号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及传输设备技术领域，涉及一种晶圆转移装置及测量方法。包括大气传输装置、晶圆装载腔室、真空传输装置、晶圆处理腔室，所述晶圆装载腔室和晶圆处理腔室包含腔体主体，透明窗，传动装置，及晶圆位置检测设备，该系统是将晶圆放置于晶圆装载腔室和晶圆处理腔室内时进行检测；本发明采用在晶圆放置于装载腔和处理腔室内时进行检测，检测结果更加真实准确，避免了因放置过程中晶圆与支座相对滑动而产生的偏差。 |
