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一种晶圆载台垂直和水平位置的调节装置及其调节方法

基本信息

申请号 CN202110622499.X 申请日 -
公开（公告）号 CN113488428A 公开（公告）日 2021-10-08
申请公布号 CN113488428A 申请公布日 2021-10-08
分类号 H01L21/687（2006.01）I 分类 基本电气元件;
发明人 郑亚新 申请（专利权）人 拓荆科技股份有限公司
代理机构 沈阳维特专利商标事务所（普通合伙） 代理人 甄玉荃
地址 110179辽宁省沈阳市浑南区水家900号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明提供了一种晶圆载台垂直和水平位置的调节装置及其调节方法，包括：晶圆载台、螺丝旋钮、伺服电机、晶圆载台固定组件和晶圆载台调节可动组件；其中，晶圆载台与晶圆载台固定组件相连，螺丝旋钮穿过晶圆载台调节可动组件与晶圆载台固定组件相接触，螺丝旋钮旋转使晶圆载台固定组件上升或下降。本发明结构节简单、操作方便、安全可靠，通过伺服电机控制晶圆载台垂直和水平角度位置，可满足调整极板间距及位置角度可调，避免了人工通过旋转螺丝调整带来的误差，提高设备利用率，便于工艺开发；调节过程中，晶圆载台垂直及水平位置可调，进而控制晶圆在真空腔室位置姿态。