一种真空内电加热喷淋头结构
基本信息
| 申请号 | CN202110403470.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113249687A | 公开（公告）日 | 2021-08-13 |
| 申请公布号 | CN113249687A | 申请公布日 | 2021-08-13 |
| 分类号 | C23C14/22（2006.01）I;C23C16/455（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 刘春;谈太德 | 申请（专利权）人 | 拓荆科技股份有限公司 |
| 代理机构 | 沈阳维特专利商标事务所（普通合伙） | 代理人 | 李娜 |
| 地址 | 110179辽宁省沈阳市浑南区水家900号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明属于真空镀膜设备技术领域，具体提供了一种真空内电加热喷淋头结构，包括喷淋顶板，所述的喷淋顶板内设有可供介质循环的通道；所述的喷淋顶板上设有喷淋气体入口；喷淋顶板与腔体外壳连接处设有一圈密封条；喷淋板，与喷淋顶板连接且具有凹进部，上设有多个喷淋通孔。加热环，设置在喷淋板与喷淋顶板连接处，设置方式包括嵌入设置在喷淋板内；阻热环，设置在加热环与喷淋顶板之间，与喷淋顶板连接。可实现真空腔体内对喷淋板的高温加热，通过结构优化调整热阻后喷淋板温度可达到300℃，同时减少通过喷淋顶板对外部的热损失，保障了其温度波动≤±5℃。同时保障外部大气侧空间温度符合生产规范。 |
