一种可用于机械手传输的托盘
基本信息
| 申请号 | CN202110393606.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113235072A | 公开（公告）日 | 2021-08-10 |
| 申请公布号 | CN113235072A | 申请公布日 | 2021-08-10 |
| 分类号 | C23C16/458（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 谈太德;褚鑫辉 | 申请（专利权）人 | 拓荆科技股份有限公司 |
| 代理机构 | 沈阳维特专利商标事务所（普通合伙） | 代理人 | 李娜 |
| 地址 | 110179辽宁省沈阳市浑南区水家900号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明属于薄膜沉积设备技术领域，具体提供了一种可用于机械手传输的托盘，该托盘具有第一托起部、第二托起部及支撑部，所述两个托起部固定连接。第一托起部与第二托起部上分别凹进设有沟槽空间，两个托起部的沟槽空间对应匹配形成一可放置支撑部的容置空间；所述支撑部的弹性变量小于两个托起部。本技术方案通过以高强度、热变形小的材料作为托盘骨骼，可以限制、减少高温时整个铝托盘的弹性变形以及塑性变形，延长了铝托盘的使用寿命，增加了工艺的稳定性。 |
