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臭氧浓度检测装置、检测系统及检测方法

基本信息

申请号 CN202110320294.6 申请日 -
公开（公告）号 CN113237997A 公开（公告）日 2021-08-10
申请公布号 CN113237997A 申请公布日 2021-08-10
分类号 G01N33/00（2006.01）I 分类 测量；测试;
发明人 柳雪;杨德赞;张义明;祁广杰;刘镇颉 申请（专利权）人 拓荆科技股份有限公司
代理机构 沈阳维特专利商标事务所（普通合伙） 代理人 陈晖
地址 110179辽宁省沈阳市浑南区水家900号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种臭氧浓度检测装置、检测系统及检测方法，其中臭氧浓度检测装置包括臭氧进气管路、臭氧出气管路、臭氧浓度计和控制盒，所述臭氧浓度计两端分别和臭氧进气管路、臭氧出气管路连接，所述控制盒安装于臭氧浓度计上；其中所述控制盒包括用于给所述臭氧浓度计供电的电源模块及数字显示器、臭氧浓度采集、检测单元。本发明提供的一种臭氧浓度检测装置，可以作为一个独立的工装应用于同一机台或者不同机台，检测不同设备的臭氧浓度；将该装置置于检测系统中，能够精确检测臭氧进入腔体前的浓度，检测时间快，应用一种臭氧浓度检测方法可以实现现场检测，成本低，具有生产经济价值，可以帮助解决不同腔体之间的工艺差异性。