一种热丝法CVD金刚石过渡层溅射设备及其使用方法
基本信息
| 申请号 | CN201910658839.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN110396674A | 公开（公告）日 | 2019-11-01 |
| 申请公布号 | CN110396674A | 申请公布日 | 2019-11-01 |
| 分类号 | C23C16/27（2006.01）I; C23C14/56（2006.01）I; C23C14/35（2006.01）I; C23C14/06（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 黄仕江; 蒋源; 袁明 | 申请（专利权）人 | 上海妙壳新材料科技有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 201311 上海市浦东新区大团镇东大公路2458号1幢5600室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种热丝法CVD金刚石过渡层溅射设备，包括真空腔体、与真空腔体连接的分子泵以及与分子泵连接的机械泵，且工件台上设置有基体，所述基体与真空腔体之间通过位于真空腔体外侧的脉冲偏压电源连接，且真空腔体的内腔左右插接有向下伸出的位于工件台左右两侧的两个灯丝电极，两个灯丝电极的下端之间通过灯丝电源连接，且两个灯丝电极的上端之间通过灯丝连接，所述真空腔体内充满反应气体。其使用方法包括以下步骤：S1预抽真空、S2温度设置、S3溅射设置、S4灯丝设置和S5溅射。该发明，提高了金刚石基体的结合力，提高了金刚石的纯度和厚度，相对于专门的设备，这里成本更低，便于普及。 |
