一种类金刚石涂层的退膜处理装置及其使用方法
基本信息
| 申请号 | CN201910736995.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN110423994A | 公开（公告）日 | 2019-11-08 |
| 申请公布号 | CN110423994A | 申请公布日 | 2019-11-08 |
| 分类号 | C23C16/02（2006.01）I; C23C16/27（2006.01）I; C23G5/00（2006.01）I; B08B3/12（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 黄仕江; 蒋源; 袁明 | 申请（专利权）人 | 上海妙壳新材料科技有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 201311 上海市浦东新区大团镇东大公路2458号1幢5600室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种类金刚石涂层的退膜处理装置及其使用方法，所述真空腔的上端插接有左右两个深入到真空腔内的电极，且两个电极的内端连接有灯丝，两个电极的外端之间通过灯丝电源连接，所述工件台上设置有基体，且转轴与真空腔之间设置有偏压电源，所述真空腔上分别开设有氩气进入口、氧气进入口和氢气进入口，且真空腔上开设有抽气口。其使用方法，包括以下步骤：S1基础设定、S2偏压电源设定、S3气体通入设定和S4清洗。在偏压电源的作用下，两个电极电离内部的氢气，产生活化态的氢离子，刻蚀类金刚石涂层，同时，还能保证底层和过渡层的存在，不会损坏带内部的工件，在氢气的挤出上，氩气能增加刻蚀速度，氧气也能加速刻蚀。 |
