一种高速钢自润滑涂层前处理设备及其使用方法
基本信息
| 申请号 | CN201910658794.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN110306151A | 公开（公告）日 | 2019-10-08 |
| 申请公布号 | CN110306151A | 申请公布日 | 2019-10-08 |
| 分类号 | C23C8/38;C23C8/02 | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 黄仕江;蒋源;袁明 | 申请（专利权）人 | 上海妙壳新材料科技有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 201311 上海市浦东新区大团镇东大公路2458号1幢5600室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种高速钢自润滑涂层前处理设备，所述真空腔体的内腔左右插接有向下伸出的位于工装台左右两侧的两个灯丝电极，两个灯丝电极的下端之间通过灯丝电源连接，且两个灯丝电极的上端之间通过灯丝连接，所述真空腔体内设置有反应气体，所述基体连接位于真空腔体外侧的脉冲偏压电源，且灯丝电极的一侧设置有冷却水管。且使用方法，包括以下步骤：S1抽真空、S2热丝加热还原处理、S3热丝等离子蚀刻和S4热丝等离子氮化。本发明采用灯丝等离子体加热还原，清洗和表面氮化为一体的处理方式，极大增加表面的硬度和涂层结合力，其过程是连续的，不影响涂层的生产周期，同时不产生传统氮化处理的白亮层。 |
