一种刀具涂层及其生产设备
基本信息
| 申请号 | CN201910658848.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN110273127A | 公开（公告）日 | 2019-09-24 |
| 申请公布号 | CN110273127A | 申请公布日 | 2019-09-24 |
| 分类号 | C23C14/16;C23C14/06;C23C14/50;C23C16/06;C23C16/34;C23C16/36;C23C16/458;C23C14/22 | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 黄仕江;蒋源;袁明 | 申请（专利权）人 | 上海妙壳新材料科技有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 201311 上海市浦东新区大团镇东大公路2458号1幢5600室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种刀具涂层，由内到外依次设置金属层、连接层、纳米多层耐磨层和自润滑层，所述金属层为Ti，连接层为TiN或TiAlN，纳米多层耐磨层为TiAlN或AlCrWSiCN，自润滑层为AlCrWSiCN。与真空腔连接的通入氮气的进气口以及设置在真空腔体上的抽气口，所述真空腔的中部设置有可以旋转的盛放工件的旋转台，所述真空腔内沿着逆时针方向依次设置有离化源、以Ti作为材料的A靶、以TiAl为材料的B靶以及以AlCrWSi为材料的C靶，且A靶、B靶和C靶均连接有偏压电源，所述A靶和离化源位于抽气口的两侧。以Ti作为基础层，结合能力更强，连接层为TiN或TiAlN，具有低应力，以TiAlN或AlCrWSiCN为纳米多层耐磨层，耐磨性好，强度更高，以AlCrWSiCN为自润滑层，减小摩擦，特别形成了含AlCrWSi的DLC层。 |
