一种用于晶振片轻巧脱膜的装置
基本信息
| 申请号 | CN202121307449.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN215560650U | 公开（公告）日 | 2022-01-18 |
| 申请公布号 | CN215560650U | 申请公布日 | 2022-01-18 |
| 分类号 | C23C14/58（2006.01）I;C23C16/56（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 谢学伟;张金寨;常黎 | 申请（专利权）人 | 上海鸿辉光联通讯技术有限公司 |
| 代理机构 | 上海湾谷知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 倪继祖 |
| 地址 | 201822上海市嘉定区马陆镇横仓公路2465号6幢 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种用于晶振片轻巧脱膜的装置，包括：多个带有镀膜层的晶振片；用于放置所述晶振片的夹具；以及用于加热脱膜所述晶振片的加热盘。还包括：器皿，所述夹具活动放置在所述器皿内，所述器皿放置在所述加热盘上。还包括：脱膜剂，所述脱膜剂放置在所述器皿内。所述夹具包括：固定板，所述固定板上依次开设有多个弧形槽，所述弧形槽底部向下开设有通槽；所述固定板底部固定有第一支架。能够有效解决晶振片轻巧脱膜的问题。 |
