一种光路行程可调的镀膜装置

基本信息

申请号 CN202121307614.6 申请日 -
公开(公告)号 CN215560643U 公开(公告)日 2022-01-18
申请公布号 CN215560643U 申请公布日 2022-01-18
分类号 C23C14/54(2006.01)I;C23C14/52(2006.01)I 分类 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
发明人 楼雪峰;张金寨 申请(专利权)人 上海鸿辉光联通讯技术有限公司
代理机构 上海湾谷知识产权代理事务所(普通合伙) 代理人 倪继祖
地址 201822上海市嘉定区马陆镇横仓公路2465号6幢
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种光路行程可调的镀膜装置,包括:镀膜机,还包括:设置在所述镀膜机内的镜头支架;设置在所述镜头支架内的T形镜头;以及设置在所述镀膜机内的用于折射入射光束的第一反射镜和第二反射镜。所述镀膜机包括:设置在所述镀膜机腔体内的水冷盘;设置在所述T形镜头正下方的基片;设置在所述镀膜机腔体内用于安装所述基片的基片支架;以及设置在所述镀膜机腔体底部用于接收入射光束的接收器。能够有效解决镀膜时,通过调节光路行程角度来满足不同角度镀膜的问题。