一种镀制线性衰减片的可变夹具结构
基本信息
| 申请号 | CN202121288848.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN215560628U | 公开（公告）日 | 2022-01-18 |
| 申请公布号 | CN215560628U | 申请公布日 | 2022-01-18 |
| 分类号 | C23C14/34（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 陆锦惠;张金寨 | 申请（专利权）人 | 上海鸿辉光联通讯技术有限公司 |
| 代理机构 | 上海湾谷知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 倪继祖 |
| 地址 | 201822上海市嘉定区马陆镇横仓公路2465号6幢 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种镀制线性衰减片的可变夹具结构，包括：溅射镀膜设备，以及设置在所述溅射镀膜设备内的真空室，包括：设置在所述真空室内的基片；设置在所述真空室内，用于转动所述基片的主轴；设置在所述基片上，用于遮挡所述基片的第一遮板和第二遮板；以及用于调整所述第一遮板和所述第二遮板遮挡角度的凸轮。所述主轴上固定有底板；所述基片通过所述基片压板固定在所述底板上。所述真空室内固定有遮板支架，所述遮板支架包括：两个固定板，两个所述固定板的左端活动串联在一起。能够有效解决溅射镀膜时，每次因为镀制不同的衰减片而需要制作不同形状的遮板的问题。 |
