一种多位透射镀膜监控装置
基本信息
| 申请号 | CN202121288842.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN215560620U | 公开（公告）日 | 2022-01-18 |
| 申请公布号 | CN215560620U | 申请公布日 | 2022-01-18 |
| 分类号 | C23C14/30（2006.01）I;C23C14/52（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 张金寨 | 申请（专利权）人 | 上海鸿辉光联通讯技术有限公司 |
| 代理机构 | 上海湾谷知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 倪继祖 |
| 地址 | 201822上海市嘉定区马陆镇横仓公路2465号6幢 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种多位透射镀膜监控装置，包括：镀膜机本体，还包括：设置在所述镀膜机本体上的电机；设置在所述镀膜机本体内并与所述电机传动的主动齿轮；监控片；与所述主动齿轮啮合传动并用于转动所述监控片的从动齿轮；以及与所述镀膜机本体连接并用于支撑所述监控片的监控片托板；其中所述监控片托板中部开设有中心孔。能够有效解决透射监控镀膜机实现多点透射监控镀膜的问题。 |
