一种超薄片产品的辅助镀膜装置

基本信息

申请号 CN202121307622.0 申请日 -
公开(公告)号 CN215560636U 公开(公告)日 2022-01-18
申请公布号 CN215560636U 申请公布日 2022-01-18
分类号 C23C14/50(2006.01)I;C23C14/54(2006.01)I;C23C26/00(2006.01)I;B05C13/02(2006.01)I 分类 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
发明人 祖兴宇 申请(专利权)人 上海鸿辉光联通讯技术有限公司
代理机构 上海湾谷知识产权代理事务所(普通合伙) 代理人 倪继祖
地址 201822上海市嘉定区马陆镇横仓公路2465号6幢
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种超薄片产品的辅助镀膜装置,包括:基片工装;设置在所述基片工装内的基片;设置在所述基片上的重压套圈;以及设置在所述重压套圈和所述基片之间的四个压环。所述基片工装上中部向下竖直开设有环形的第一固定槽,所述第一固定槽内固定有环形的基片底座;所述基片底座上中部向下竖直开设有第二固定槽,所述第二固定槽内安装固定有所述基片。能够有效解决超薄片镀膜产品由于受热产生形变的问题。