一种采用光刻工艺在基材表面制作CD纹的方法
基本信息
| 申请号 | CN201611094709.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN106444278A | 公开（公告）日 | 2017-02-22 |
| 申请公布号 | CN106444278A | 申请公布日 | 2017-02-22 |
| 分类号 | G03F7/00(2006.01)I;G03F7/16(2006.01)I;G03F7/30(2006.01)I;G03F1/42(2012.01)I;G03F7/40(2006.01)I;G03F7/20(2006.01)I;G03F7/32(2006.01)I | 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; |
| 发明人 | 赵博;王滋峰;高长有 | 申请（专利权）人 | 南京京晶光电科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京思创大成知识产权代理有限公司 | 代理人 | 南京京晶光电科技有限公司 |
| 地址 | 210038 江苏省南京市经济技术开发区恒飞路8号科创基地306室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供一种采用光刻工艺在基材表面制作CD纹的方法，包括如下步骤：1)制作掩膜版；2)涂布光刻胶、烘烤；3)曝光、烘烤；4)显影、烘烤。所述方法提供一种效率高、精度高且适用范围广的采用光刻在基材表面制作出CD纹的方法。 |
