一种采用刻蚀工艺在基材表面加工CD纹的方法
基本信息
| 申请号 | CN201610178182.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN105676589A | 公开（公告）日 | 2016-06-15 |
| 申请公布号 | CN105676589A | 申请公布日 | 2016-06-15 |
| 分类号 | G03F7/00(2006.01)I;H01L21/02(2006.01)I | 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; |
| 发明人 | 沈厚军;赵博;李建勳;郑松森 | 申请（专利权）人 | 南京京晶光电科技有限公司 |
| 代理机构 | 苏州市方略专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 南京京晶光电科技有限公司 |
| 地址 | 210038 江苏省南京市经济技术开发区恒飞路8号科创基地306室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供一种采用刻蚀工艺在基材表面加工CD纹的方法，包括如下步骤：1)制作掩膜版；2)涂布光阻薄膜、烘烤；3)曝光、烘烤；4)显影、烘烤；5)刻蚀。所述方法提供一种效率高、精度高且适用范围广的采用干法或湿法刻蚀在基材表面加工出CD纹的方法。 |
