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一种蓝宝石纳米压晶片不良品洁净清洗系统

基本信息

申请号 CN201621159177.7 申请日 -
公开（公告）号 CN206332010U 公开（公告）日 2017-07-14
申请公布号 CN206332010U 申请公布日 2017-07-14
分类号 H01L21/67 分类 基本电气元件;
发明人 郑松森;沈厚军;唐宁;周超锋 申请（专利权）人 南京京晶光电科技有限公司
代理机构 北京思创大成知识产权代理有限公司 代理人 南京京晶光电科技有限公司;江苏京晶光电科技有限公司
地址 210038 江苏省南京市经济技术开发区恒广路58号
法律状态 -

摘要

摘要 一种蓝宝石纳米压晶片不良品洁净清洗系统，它包括晶片浸泡装置、药液补给装置、刷片旋干装置、传片系统、下片装置和控制器，所述的晶片浸泡装置、刷片旋干装置和下片装置依次设置，所述药液补给装置通过管路与晶片浸泡装置连接，由药液补给泵将药液补给到晶片浸泡装置中，所述传片系统布置于晶片浸泡装置、刷片旋干装置和下片装置之间，用于将晶片由晶片浸泡装置中取出运送到刷片旋干装置中作业，完成后将晶片运送到下片装置。本实用新型通过药液浸泡及刷片旋干，可以使晶片清洗的洁净度得到有效高，在后续的加工中产品质量更好、不会产生脱胶现象。