一种在蓝宝石表面制作CD纹的加工系统
基本信息
| 申请号 | CN201620241380.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN205581517U | 公开（公告）日 | 2016-09-14 |
| 申请公布号 | CN205581517U | 申请公布日 | 2016-09-14 |
| 分类号 | G03F7/20(2006.01)I;H01L21/02(2006.01)I;B82Y40/00(2011.01)I | 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; |
| 发明人 | 沈厚军;赵博;李建勳;郑松森 | 申请（专利权）人 | 南京京晶光电科技有限公司 |
| 代理机构 | 苏州市方略专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 南京京晶光电科技有限公司;江苏京晶光电科技有限公司 |
| 地址 | 210038 江苏省南京市经济技术开发区恒飞路8号科创基地306室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型提供一种在蓝宝石表面制作CD纹的加工系统，所述加工系统包括：一旋涂式匀胶机；一步进式光刻机，包括：并列间隔排布的控制单元和曝光单元；一显影机；一等离子体干法刻蚀机。所述加工系统得到的CD纹材质为蓝宝石，属于在蓝宝石表面精加工出CD纹，所形成的CD纹不脱落，不易划伤。 |
