一种采用纳米压印工艺在基材表面加工CD纹的方法

基本信息

申请号 CN201610179979.2 申请日 -
公开(公告)号 CN105818556A 公开(公告)日 2016-08-03
申请公布号 CN105818556A 申请公布日 2016-08-03
分类号 B41M1/26(2006.01)I;B41M7/00(2006.01)I 分类 印刷;排版机;打字机;模印机〔4〕;
发明人 陈益军;李建勳;郑松森 申请(专利权)人 南京京晶光电科技有限公司
代理机构 苏州市方略专利代理事务所(普通合伙) 代理人 马广旭
地址 210038 江苏省南京市经济技术开发区恒飞路8号科创基地306室
法律状态 -

摘要

摘要 本发明提供一种采用纳米压印工艺在基材表面加工CD纹的方法,包括如下步骤:1)制作母模、PDMS(聚二甲基硅氧烷)软模;2)涂布UV固化胶薄膜、烘烤;3)压印、UV固化、烘烤;4)刻蚀。所述方法提供一种在高精度的前提下,可加工大面积的CD纹,采用纳米压印工艺和干法或湿法刻蚀在基材表面加工出CD纹的方法。