在蓝宝石表面制作CD纹并激光切割成LOGO的系统

基本信息

申请号 CN201620241516.X 申请日 -
公开(公告)号 CN205571734U 公开(公告)日 2016-09-14
申请公布号 CN205571734U 申请公布日 2016-09-14
分类号 B23K26/38(2014.01)I;B23K26/70(2014.01)I 分类 机床;不包含在其他类目中的金属加工;
发明人 李建勳;郑松森 申请(专利权)人 南京京晶光电科技有限公司
代理机构 苏州市方略专利代理事务所(普通合伙) 代理人 南京京晶光电科技有限公司;江苏京晶光电科技有限公司
地址 210038 江苏省南京市经济技术开发区恒飞路8号科创基地306室
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型提供一种在蓝宝石表面制作CD纹并激光切割成LOGO的系统,所述加工系统包括:一旋涂式匀胶机;一步进式光刻机,包括:并列间隔排布的控制单元和曝光单元;一显影机;一等离子体干法刻蚀机;一激光切割机。所述加工系统得到的CD纹材质为蓝宝石,属于在蓝宝石表面精加工出CD纹,所形成的CD纹不脱落,不易划伤,经过高功率激光切割后晶片边缘烧蚀区域小于20um。