一种光刻机对准标记制作方法
基本信息
| 申请号 | CN202110038886.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112666806A | 公开（公告）日 | 2021-04-16 |
| 申请公布号 | CN112666806A | 申请公布日 | 2021-04-16 |
| 分类号 | G03F9/00;H01L21/67;H01L27/146 | 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; |
| 发明人 | 方小磊;陈涛;刘耀聪;张凯;蔡雨杉;李天成 | 申请（专利权）人 | 长春长光圆辰微电子技术有限公司 |
| 代理机构 | 长春中科长光知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 高一明;郭婷 |
| 地址 | 130000 吉林省长春市经开区营口路18号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及半导体芯片加工制造领域。本发明提供一种背照式图像传感器的光刻机对准标记制作方法，在键合前的两片晶圆上通过任意光刻机分别制作红外对准标记；在键合、减薄后，通过红外光刻机找到存在于两片晶圆中的红外对准标记，利用此红外对准标记在减薄后的晶圆表面制作专用光刻机标记。通过制作红外光刻机对准标记，实现了背照式图像传感器在键合、减薄后的精确对准，从而可以在减薄后的晶圆上直接制作后层对准标记，进而后续结构的对准和光刻可以使用任意一种光刻机完成。 |
