压力传感器
基本信息
| 申请号 | CN201822256207.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN209400106U | 公开（公告）日 | 2019-09-17 |
| 申请公布号 | CN209400106U | 申请公布日 | 2019-09-17 |
| 分类号 | G01L1/22（2006.01）I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 罗应树; 刘松润; 钟茗 | 申请（专利权）人 | 飞耐特传感（安徽）有限公司 |
| 代理机构 | 上海盈盛知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 菲比蓝科技（深圳）有限公司;飞耐特传感（安徽）有限公司 |
| 地址 | 518103 广东省深圳市宝安区福永街道金菊路18号听涛雅苑2期C栋202 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 一种压力传感器，包括：半导体衬底，所述半导体衬底包括上表面和相对的下表面；位于半导体衬底中的受压腔体，所述受压腔体的开口位于半导体衬底的下表面，所述受压腔体底部对应的半导体衬底为应变膜；位于应变膜上的应变电阻；位于应变膜中的若干环形沟槽，所述若干环形沟槽位于应变电阻两侧，所述若干环形沟槽用于将应变集中在应变电阻处。本实用新型的压力传感器灵敏度提升，并且过载能力强，不易损坏。 |
