一种多晶硅管道类设备清洗装置

基本信息

申请号 CN201520627229.8 申请日 -
公开(公告)号 CN205008326U 公开(公告)日 2016-02-03
申请公布号 CN205008326U 申请公布日 2016-02-03
分类号 B08B9/02(2006.01)I 分类 清洁;
发明人 刘辉;李频 申请(专利权)人 长安银行股份有限公司咸阳人民东路支行
代理机构 陕西增瑞律师事务所 代理人 陕西庄臣环保科技有限公司
地址 712000 陕西省咸阳市迎宾大道李家寨北侧66号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种多晶硅管道类设备清洗装置,包括通过循环泵与加热循环槽相连接的浸泡池,管道类设备浸泡在浸泡池中的清洗液中,管道类设备的一端还通过管道与浸泡池清洗液进入口相连接,另一端通过管道与浸泡池清洗液排出口相连接。本实用新型能够实现管道类设备的浸泡式循环流水线作业,实现包括管内壁、外壁全方位的清洗,使多晶硅设备的管道清洗产能提高3-5倍,能大大缩短多晶硅设备清洗的时间。