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光束偏摆自动补偿装置以及激光干涉仪

基本信息

申请号 CN202111460690.5 申请日 -
公开（公告）号 CN114166113A 公开（公告）日 2022-03-11
申请公布号 CN114166113A 申请公布日 2022-03-11
分类号 G01B9/02055（2022.01）I 分类 测量；测试;
发明人 段小艳;张大治;田森 申请（专利权）人 中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所
代理机构 北京市隆安律师事务所 代理人 付建军
地址 100095北京市海淀区温泉镇环山村1066信箱
法律状态 -

摘要

摘要 本发明提供一种光束偏摆自动补偿装置以及激光干涉仪，其中光束偏摆自动补偿装置，用于激光干涉仪，包括物镜、前补偿镜、光栏和后补偿镜，来自偏摆目标的偏转光束依次经所述物镜、所述前补偿镜、所述光栏和所述后补偿镜入射到所述激光干涉仪的光电接收器；所述物镜用于对来自偏摆目标的偏转光束进行会聚；所述前补偿镜用于对所述物镜的出射光束进行二次会聚，所述前补偿镜的焦距小于所述前补偿镜与所述物镜的间距；所述光栏用于控制出射光束在所述后补偿镜的入射光瞳；所述后补偿镜用于控制出射光束入射到所述光电接收器的光斑尺寸，所述后补偿镜的焦距小于所述前补偿镜的焦距。本发明能够补偿因被测目标转动导致的光束偏摆。