一种微小压力光学测量方法与校准装置
基本信息
| 申请号 | CN202111349631.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114112172A | 公开（公告）日 | 2022-03-01 |
| 申请公布号 | CN114112172A | 申请公布日 | 2022-03-01 |
| 分类号 | G01L11/02（2006.01）I;G01L27/00（2006.01）I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 谢兴娟;杨军;李博;田森 | 申请（专利权）人 | 中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所 |
| 代理机构 | 北京正阳理工知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 王松 |
| 地址 | 100095北京市海淀区温泉镇环山村 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开的一种微小压力光学测量方法与校准装置，属于计量测试技术领域。本发明主要由振动台、活塞、变容积机构、压力测试腔、激光干涉测量系统和控制系统组成。压力测试腔与变容积机构连接，振动台与活塞杆连接，活塞杆深入变容积机构内，振动台运动驱动变容积机构使其内压力腔容积变化，同时带动压力测试腔内的压力产生变化。利用激光干涉光学系统实现微小压力的高精度溯源，其中压力测试腔内有多个高反射面，通过对入射光的多次反射，增加腔内激光传输路径，在小尺寸压力腔内增大测量光程，解决腔长尺寸和压力稳定性、动态响应之间的矛盾，提高压力测量的灵敏度和精度，能够实现针对微小静态或动态压力的精确测量和校准。 |
